公布日：2023.11.07
申請(qǐng)日：2023.09.19
分類號(hào)：C02F9/00(2023.01)I;C02F1/62(2023.01)N;C02F1/66(2023.01)N;C02F1/56(2023.01)N;C02F1/52(2023.01)N;C02F1/58(2023.01)N;C02F1/44(2023.01)N;C02F1
/00(2023.01)N;C02F101/14(2006.01)N;C02F101/20(2006.01)N
摘要
針對(duì)半導(dǎo)體廢水進(jìn)行分類，半導(dǎo)體廢水主要由含銅，鎳，錫重金屬廢水，含氟離子廢水以及七個(gè)研磨硅片而產(chǎn)生的廢水，將三種廢水統(tǒng)一通過三組分裝池完成封裝，配合完成處理工序；可以大量的減少污水排放，減輕排放設(shè)備負(fù)擔(dān)；降低了廢水處理系統(tǒng)的成本；回用水作為再生資源，是以后企業(yè)污水排放及利用的發(fā)展趨勢(shì)。
權(quán)利要求書
1.一種半導(dǎo)體廢水處理工藝，包括一下步驟：步驟一：針對(duì)半導(dǎo)體廢水進(jìn)行分類，半導(dǎo)體廢水主要由含銅，鎳，錫重金屬廢水，含氟離子廢水以及七個(gè)研磨硅片而產(chǎn)生的廢水，將三種廢水統(tǒng)一通過三組分裝池完成封裝，配合完成處理工序；銅，鎳，錫重金屬廢水的集中回收池內(nèi)率先加入氫氧化鈉調(diào)節(jié)廢水的PH值，再加入硫化鈉與廢水中的鎳離子反應(yīng)生成沉淀，后續(xù)將適量的聚合氯化鋁與聚丙烯酰胺添加入沉淀的廢水池內(nèi)，并且池內(nèi)會(huì)形成絮凝，最后將金屬硫化物添加至絮凝的廢水池內(nèi)完成最終沉淀；步驟二：含氟離子廢水的集中回收池內(nèi)含氟離子廢水和氯化鈣發(fā)生反應(yīng)，控制PH值在10-11，保證投加過量的消石灰，通過化學(xué)反應(yīng)生產(chǎn)了氟化鈣沉淀；進(jìn)入絮凝池，投加硫酸鋁和聚丙烯酰胺，結(jié)成大片絮凝物，控制PH值在7-8之間，落在斜板沉淀池內(nèi)；步驟三：研磨廢水的集中回收池內(nèi)的廢水流經(jīng)調(diào)節(jié)池內(nèi)，檢查濁度情況；濁度合格后可無需處理；若濁度不合格，則進(jìn)行回流處理，將回流的研磨廢水調(diào)節(jié)池內(nèi)進(jìn)行二次調(diào)節(jié)；以上步驟三的濁度控制環(huán)節(jié)循環(huán)進(jìn)行，直至濁度合格為止；上述廢水分類采用了超濾膜作為顆粒以及懸浮物的分離收集結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體廢水處理工藝；其特征是：銅，鎳，錫重金屬廢水在處理過程中，需要經(jīng)過砂濾去除廢水中的懸浮物雜質(zhì)，最后通過樹脂對(duì)廢水進(jìn)行深度處理，使廢水中的鎳濃度達(dá)到上海半導(dǎo)體一級(jí)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)（<0.1mg/L);含錫廢水處理工藝與除鎳工藝相似，先用氫氧化鈉調(diào)節(jié)PH，再添加硫化鈉反應(yīng)，再添加聚合氯化鋁與聚丙烯酰胺加速沉淀，砂濾，最后利用樹脂交換器進(jìn)行深度處理，保證出水離子濃度達(dá)標(biāo)排放。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體廢水處理工藝；其特征是：含氟離子廢水的集中回收池出水水質(zhì)F-含量<10mg/L，符合排放標(biāo)準(zhǔn)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體廢水處理工藝；其特征是：所述超濾膜具孔徑0.001μm～0.01μm，將過濾筒裝設(shè)備內(nèi)部上下分層分布多組超濾膜具，從而達(dá)到逐層分離的功效。
發(fā)明內(nèi)容
為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下：一種半導(dǎo)體廢水處理工藝，包括一下步驟：步驟一：針對(duì)半導(dǎo)體廢水進(jìn)行分類，半導(dǎo)體廢水主要由含銅，鎳，錫重金屬廢水，含氟離子廢水以及七個(gè)研磨硅片而產(chǎn)生的廢水，將三種廢水統(tǒng)一通過三組分裝池完成封裝，配合完成處理工序；銅，鎳，錫重金屬廢水的集中回收池內(nèi)率先加入氫氧化鈉調(diào)節(jié)廢水的PH值，再加入硫化鈉與廢水中的鎳離子反應(yīng)生成沉淀，后續(xù)將適量的聚合氯化鋁與聚丙烯酰胺添加入沉淀的廢水池內(nèi)，并且池內(nèi)會(huì)形成絮凝，最后將金屬硫化物添加至絮凝的廢水池內(nèi)完成最終沉淀；步驟二：含氟離子廢水的集中回收池內(nèi)含氟離子廢水和氯化鈣發(fā)生反應(yīng)，控制PH值在10-11，保證投加過量的消石灰，通過化學(xué)反應(yīng)生產(chǎn)了氟化鈣沉淀；進(jìn)入絮凝池，投加硫酸鋁和聚丙烯酰胺，結(jié)成大片絮凝物，控制PH值在7-8之間，落在斜板沉淀池內(nèi)；步驟三：研磨廢水的集中回收池內(nèi)的廢水流經(jīng)調(diào)節(jié)池內(nèi)，檢查濁度情況；濁度合格后可無需處理；若濁度不合格，則進(jìn)行回流處理，將回流的研磨廢水調(diào)節(jié)池內(nèi)進(jìn)行二次調(diào)節(jié)；以上步驟三的濁度控制環(huán)節(jié)循環(huán)進(jìn)行，直至濁度合格為止；上述廢水分類采用了超濾膜作為顆粒以及懸浮物的分離收集結(jié)構(gòu)。
根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體廢水處理工藝；其特征是：銅，鎳，錫重金屬廢水在處理過程中，需要經(jīng)過砂濾去除廢水中的懸浮物雜質(zhì)，最后通過樹脂對(duì)廢水進(jìn)行深度處理，使廢水中的鎳濃度達(dá)到上海半導(dǎo)體一級(jí)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)（<0.1mg/L);含錫廢水處理工藝與除鎳工藝相似，先用氫氧化鈉調(diào)節(jié)PH，再添加硫化鈉反應(yīng)，再添加聚合氯化鋁與聚丙烯酰胺加速沉淀，砂濾，最后利用樹脂交換器進(jìn)行深度處理，保證出水離子濃度達(dá)標(biāo)排放。
根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體廢水處理工藝；其特征是：含氟離子廢水的集中回收池出水水質(zhì)F-含量<10mg/L，符合排放標(biāo)準(zhǔn)，根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體廢水處理工藝；其特征是：所述超濾膜具孔徑0.001μm～0.01μm，將過濾筒裝設(shè)備內(nèi)部上下分層分布多組超濾膜具，從而達(dá)到逐層分離的功效。
本發(fā)明的有益效果為：1、可以大量的減少污水排放，減輕排放設(shè)備負(fù)擔(dān)；2、降低了廢水處理系統(tǒng)的成本；3、回用水作為再生資源，是以后企業(yè)污水排放及利用的發(fā)展趨勢(shì)。
（發(fā)明人：韓波）
