申請日2015.08.20

　　公開(公告)日2015.12.30

　　IPC分類號F17D1/08; B08B13/00; H01L21/67; F17D3/01

　　摘要

　　本發(fā)明涉及工業(yè)廢液的分類排放技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種晶圓清洗設(shè)備廢水的排放系統(tǒng)及其應(yīng)用。該系統(tǒng)包括多組提供清洗液的供液管路和與每組的供液管路對應(yīng)的排放清洗廢液的排放管路，在每條的供液管路上設(shè)置有供液氣動開關(guān)閥，在每條的排放管上設(shè)置有排放氣動開關(guān)閥，系統(tǒng)還包括輸出開關(guān)信號的控制裝置、由控制裝置控制的供液電磁閥和由控制裝置控制的排放電磁閥，供液電磁閥連接各個的供液氣動開關(guān)閥，排放電磁閥連接各個的排放氣動開關(guān)閥，系統(tǒng)還包括多條廢液收集槽。通過本發(fā)明所提供的系統(tǒng)，可以對廢液的排放進行切換，達到廢液的分類排放效果，降低廢液排放和回收的處理成本，提高回收化學(xué)品的品質(zhì)和回收量，并有利于環(huán)保。

　　權(quán)利要求書

　　1.一種晶圓清洗設(shè)備廢水的排放系統(tǒng)，其特征在于：系統(tǒng)包括多條提供 清洗液的供液管路(1)和與每條所述的供液管路(1)一一對應(yīng)的排放清洗 廢液的排放管路(2)，在每條所述的供液管路(1)上設(shè)置有供液氣動開關(guān) 閥(3)，在每條所述的排放管路(2)上設(shè)置有排放氣動開關(guān)閥(4)，系統(tǒng) 還包括輸出開關(guān)信號的控制裝置(5)、由所述控制裝置(5)控制的供液電 磁閥(6)和由所述控制裝置(5)控制的排放電磁閥(7)，所述供液電磁閥 (6)連接各個所述的供液氣動開關(guān)閥(3)，所述排放電磁閥(7)連接各個 所述的排放氣動開關(guān)閥(4)，系統(tǒng)還包括多條廢液收集槽(8)，每條所述的 廢液收集槽(8)將一組相互對應(yīng)的供液管路(1)和排放管路(2)連通， 或者，每條所述的廢液收集槽(8)將多組相互對應(yīng)的供液管路(1)和排放 管路(2)連通。

　　2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓清洗設(shè)備廢水的排放系統(tǒng)，其特征在于： 在所述控制裝置(5)和所述排放電磁閥(7)之間設(shè)置有延時器(9)。

　　3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓清洗設(shè)備廢水的排放系統(tǒng)，其特征在于： 在所述控制裝置(5)向所述供液電磁閥(6)和所述排放電磁閥(7)發(fā)出 關(guān)閉信號后，所述延時器(9)將所述關(guān)閉信號延時3～10s后傳遞給所述排 放電磁閥(7)。

　　4.根據(jù)權(quán)利要求3任一所述的晶圓清洗設(shè)備廢水的排放系統(tǒng)，其特征在 于：各組相互對應(yīng)的供液管路(1)和排放管路(2)分別進行不同種類清洗 液的清洗。

　　5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一所述的晶圓清洗設(shè)備廢水的排放系統(tǒng)，其特 征在于：當(dāng)某條所述的廢液收集槽(8)將多組相互對應(yīng)的供液管路(1)和 排放管路(2)連通時，所述控制裝置(5)在控制一組相互對應(yīng)的供液管路 (1)和排放管路(2)工作完后，再控制另一組相互對應(yīng)的供液管路(1) 和排放管路(2)工作。

　　6.一種根據(jù)權(quán)利要求1至5任一所述的晶圓清洗設(shè)備廢水的排放系統(tǒng)的 應(yīng)用，其特征在于：用于單片晶圓清洗設(shè)備廢水的排放。

　　說明書

　　一種晶圓清洗設(shè)備廢水的排放系統(tǒng)及其應(yīng)用

　　技術(shù)領(lǐng)域

　　本發(fā)明涉及工業(yè)廢液的分類排放技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種晶圓清洗設(shè)備 廢水的排放系統(tǒng)及其應(yīng)用。

　　背景技術(shù)

　　在WET單片晶圓清洗過程中，會用到多種化學(xué)品，并產(chǎn)生相應(yīng)的清洗 廢液。多種廢液目前一般采用混合排放，或者在硬件設(shè)計上，對廢液做簡單 的酸堿排放分類，然后直接排放。這種排放方式會影響廠務(wù)廢液處理的難度 和成本，以及降低可回收化學(xué)品和水的品質(zhì)和回收量。對廢液的分類排放或 回收能夠有效的降低成本和利于環(huán)保。

　　目前，在單片清洗制程中，最常用的制程為PRS和RCA，會有SC1， SC2，SPM、HF、IPA和DI等多種廢液排放。當(dāng)前的對廢液排放分類不足， 或者沒有分類，造成廠務(wù)廢液處理的困難和成本增加。

　　以RCAchamber為例，會用到SC1(NH4OH、H2O2、H2O混合物)，SC2 (HCl、H2O2、H2O混合物)，HF、IPA和DI。一般使用硬件切換對IPA和 其他化學(xué)品分類排放。但由于硬件設(shè)計的空間，成本，控制可行度等限制， 很難對所有化學(xué)品全部做分類處理。

　　發(fā)明內(nèi)容

　　為解決現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種晶圓清洗設(shè)備廢水的排放系 統(tǒng)及其應(yīng)用。

　　一種晶圓清洗設(shè)備廢水的排放系統(tǒng)，系統(tǒng)包括多組提供清洗液的供液管 路和與每組所述的供液管路對應(yīng)的排放清洗廢液的排放管路，在每條所述的 供液管路上設(shè)置有供液氣動開關(guān)閥，在每條所述的排放管上設(shè)置有排放氣動 開關(guān)閥，系統(tǒng)還包括輸出開關(guān)信號的控制裝置、由所述控制裝置控制的供液 電磁閥和由所述控制裝置控制的排放電磁閥，所述供液電磁閥連接各個所述 的供液氣動開關(guān)閥，所述排放電磁閥連接各個所述的排放氣動開關(guān)閥，系統(tǒng) 還包括多條廢液收集槽，每條所述的廢液收集槽將一組相互對應(yīng)的供液管路 和排放管路連通，或者，每條所述的廢液收集槽將多組相互對應(yīng)的供液管路 和排放管路連通。

　　優(yōu)選的，在所述控制裝置和所述排放電磁閥之間設(shè)置有延時器。

　　延時器可以通過供應(yīng)開關(guān)的信號，延遲后來控制廢液的排放開關(guān)。延時 器的時間設(shè)定由具體管路長度決定。

　　優(yōu)選的，在所述控制裝置向所述供液電磁閥和所述排放電磁閥發(fā)出關(guān)閉 信號后，所述延時器將所述關(guān)閉信號延時3～10s后傳遞給所述排放電磁閥。

　　優(yōu)選的，各組相互對應(yīng)的供液管路和排放管路分別進行不同種類清洗液 的清洗。

　　優(yōu)選的，當(dāng)某條所述的廢液收集槽將多組相互對應(yīng)的供液管路和排放管 路連通時，所述控制裝置在控制一組相互對應(yīng)的供液管路和排放管路工作完 后，再控制另一組相互對應(yīng)的供液管路和排放管路工作。

　　本發(fā)明還提供了一種所述的晶圓清洗設(shè)備廢水的排放系統(tǒng)的應(yīng)用，用于 單片晶圓清洗設(shè)備廢水的排放。

　　有益效果

　　通過本發(fā)明所提供的晶圓清洗設(shè)備廢水的排放系統(tǒng)，可以對廢液的排放 進行切換，達到廢液的分類排放效果，降低廢液排放和回收的處理成本，提 高回收化學(xué)品的品質(zhì)和回收量，并有利于環(huán)保。