公布日：2024.06.25

申請日：2023.11.28

優先權：2022-2062742022.12.23JP

摘要

本發明提供在處理含氫氟酸水時能抑制因過濾材料的溶解所致的過濾材料的減少、且使裝置穩定地運轉的含氫氟酸水的處理裝置。pH小于4的含氫氟酸水的處理裝置(1)具有填充有過濾材料的過濾裝置(12)以及配置于過濾裝置(12)的后級且填充有離子交換體的去離子裝置(16)，所述過濾材料由合成樹脂制過濾材料構成，或由合成樹脂制過濾材料與碳系過濾材料的組合構成，或由碳系過濾材料構成。

權利要求書

1.一種含氫氟酸水的處理裝置，是pH小于4的含氫氟酸水的處理裝置，其特征在于，所述含氫氟酸水的處理裝置具有：過濾裝置，其填充有過濾材料；以及去離子裝置，其配置于所述過濾裝置的后級，且填充有離子交換體，所述過濾材料由合成樹脂制過濾材料構成。

2.一種含氫氟酸水的處理裝置，是pH小于4的含氫氟酸水的處理裝置，其特征在于，所述含氫氟酸水的處理裝置具有：過濾裝置，其填充有過濾材料；以及去離子裝置，其配置于所述過濾裝置的后級，且填充有離子交換體，所述過濾材料由合成樹脂制過濾材料與碳系過濾材料的組合構成。

3.一種含氫氟酸水的處理裝置，是pH小于4的含氫氟酸水的處理裝置，其特征在于，所述含氫氟酸水的處理裝置具有：過濾裝置，其填充有過濾材料；以及去離子裝置，其配置于所述過濾裝置的后級，且填充有離子交換體，所述過濾材料由碳系過濾材料構成。

4.根據權利要求3所述的含氫氟酸水的處理裝置，其特征在于，所述過濾材料由有效直徑及比重不同的至少2種所述碳系過濾材料構成，所述過濾裝置填充有多層所述至少2種所述碳系過濾材料。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的含氫氟酸水的處理裝置，其特征在于，所述含氫氟酸水是半導體工廠的除害設備的排水。

6.根據權利要求1或2所述的含氫氟酸水的處理裝置，其特征在于，所述合成樹脂制過濾材料包含以聚乙烯PE、聚丙烯PP、聚氯乙烯PVC、聚苯乙烯PS、聚酯、聚酰胺PA、聚碳酸酯PC、聚乙烯醇PVA或聚四氟乙烯PTFE的任一種為主成分的過濾材料當中的有效直徑及比重不同的至少2種過濾材料。

7.根據權利要求1或2所述的含氫氟酸水的處理裝置，其特征在于，所述合成樹脂制過濾材料是纖維狀過濾材料。

8.一種含氫氟酸水的處理方法，是pH小于4的含氫氟酸水的處理方法，其特征在于，所述含氫氟酸水的處理方法包括：過濾工序，向填充有過濾材料的過濾裝置通入所述含氫氟酸水來得到過濾水；以及去離子工序，向填充有離子交換體的去離子裝置通入所述過濾水來得到離子交換處理水，所述過濾材料由合成樹脂制過濾材料構成。

9.一種含氫氟酸水的處理方法，是pH小于4的含氫氟酸水的處理方法，其特征在于，所述含氫氟酸水的處理方法包括：過濾工序，向填充有過濾材料的過濾裝置通入所述含氫氟酸水來得到過濾水；以及去離子工序，向填充有離子交換體的去離子裝置通入所述過濾水來得到離子交換處理水，所述過濾材料由合成樹脂制過濾材料與碳系過濾材料的組合構成。

10.一種含氫氟酸水的處理方法，是pH小于4的含氫氟酸水的處理方法，其特征在于，所述含氫氟酸水的處理方法利用填充有過濾材料的過濾裝置以及配置于所述過濾裝置的后級且填充有離子交換體的去離子裝置，所述過濾材料由碳系過濾材料構成。

發明內容

發明要解決的課題

為此，本發明的目的是提供含氫氟酸水的處理裝置以及處理方法，在處理含氫氟酸水時，能抑制因過濾材料的溶解所致的過濾材料的減少，且使裝置穩定地運轉。

用于解決課題的技術方案

本技術方案涉及一種含氫氟酸水的處理裝置，是pH小于4的含氫氟酸水的處理裝置，具有：過濾裝置，其填充有過濾材料；以及去離子裝置，其配置于所述過濾裝置的后級，且填充有離子交換體，所述過濾材料由合成樹脂制過濾材料構成。

另外，本技術方案涉及一種含氫氟酸水的處理裝置，是pH小于4的含氫氟酸水的處理裝置，具有：過濾裝置，其填充有過濾材料；以及去離子裝置，其配置于所述過濾裝置的后級，且填充有離子交換體，所述過濾材料由合成樹脂制過濾材料與碳系過濾材料的組合構成。

另外，本技術方案涉及一種含氫氟酸水的處理裝置，是pH小于4的含氫氟酸水的處理裝置，具有：過濾裝置，其填充有過濾材料；以及去離子裝置，其配置于所述過濾裝置的后級，且填充有離子交換體，所述過濾材料由碳系過濾材料構成。

另外，優選地，在所述含氫氟酸水的處理裝置的基礎上，所述過濾材料由有效直徑及比重不同的至少2種所述碳系過濾材料構成，所述過濾裝置填充有多層所述至少2種所述碳系過濾材料。

另外，優選地，在所述含氫氟酸水的處理裝置的基礎上，所述含氫氟酸水是半導體工廠的除害設備的排水。

另外，優選地，在所述含氫氟酸水的處理裝置的基礎上，所述合成樹脂制過濾材料包含以聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚氯乙烯(PVC)、聚苯乙烯(PS)、聚酯、聚酰胺(PA)、聚碳酸酯(PC)、聚乙烯醇(PVA)或聚四氟乙烯(PTFE)的任一種為主成分的過濾材料當中的有效直徑及比重不同的至少2種過濾材料。

另外，優選地，在所述含氫氟酸水的處理裝置的基礎上，所述合成樹脂制過濾材料是纖維狀過濾材料。

另外，本技術方案涉及一種含氫氟酸水的處理方法，是pH小于4的含氫氟酸水的處理方法，包括：過濾工序，向填充有過濾材料的過濾裝置通入所述含氫氟酸水來得到過濾水；以及去離子工序，向填充有離子交換體的去離子裝置通入所述過濾水來得到離子交換處理水，所述過濾材料由合成樹脂制過濾材料構成。

另外，本技術方案涉及一種含氫氟酸水的處理方法，是pH小于4的含氫氟酸水的處理方法，包括：過濾工序，向填充有過濾材料的過濾裝置通入所述含氫氟酸水來得到過濾水；以及去離子工序，向填充有離子交換體的去離子裝置通入所述過濾水來得到離子交換處理水，所述過濾材料由合成樹脂制過濾材料與碳系過濾材料的組合構成。

另外，本技術方案涉及一種含氫氟酸水的處理方法，是pH小于4的含氫氟酸水的處理方法，利用填充有過濾材料的過濾裝置以及配置于所述過濾裝置的后級且填充有離子交換體的去離子裝置，所述過濾材料由碳系過濾材料構成。

發明效果

根據本發明，在處理含氫氟酸水時，能抑制因過濾材料的溶解所致的過濾材料的減少，且使裝置穩定地運轉。

（發明人：中野徹）