濕式空氣氧化(WAO)工藝最早是由美國ZIM—PRO公司研制開發，故又稱為ZIMPRO處理工藝，1958年由Zimmerman首次將其應用于污水處理。該工藝是將待處理的物料置于密閉的容器中，在高溫高壓條件下通入空氣或純度較高的氧作為氧化劑，按濕式燃燒原理使污水中有機物降解。在此之后，日本、歐共體、美國等陸續將該技術運用于造紙廢水、化工廢水等高濃度有機物的廢水處理中。據報道，至2000年，世界上采用這種工藝建成的WAO工廠已有200多家，ZIMPRO工藝雖然處理效率高，但由于其反應器終端溫度很高，對反應材質要求很高，要求耐高溫高壓、耐腐蝕，因此設備投資高，限制了它的進一步推廣。為了克服ZIMPRO工藝的缺點，各國紛紛推出新型的濕式氧化工藝，如t3本石化公司提出的NPC工藝；70年代后發展了催化濕式氧化工藝(CWA0)；1982年美國MADOR公司開發的超臨界濕式氧化工藝(SWA0)等。國內許多科研人員對WAO工藝進行了深入研究，其中楊奇、錢易等首次將濕式氧化法應用于香料廢水的處理，在中溫160℃、中壓2．8MPA的條件下，香料廢水經30分鐘濕式氧化處理，COD，TOC，色度的去除率分別可達到48%，51%和95%，可生化性增強(圖1)。董岳剛等得出了濕式氧化工藝的動力學參數。楊奇、趙建夫等在WAO基礎上應用催化濕式氧化(CWAO)工藝處理香料廢水，對催化反應機理及催化劑對反應的影響做了討論，證明了廢水經CWAO處理后可生化性明顯地提高，并得到了苯環取代基的氧化規律，認為很難氧化的苯環上的取代基分為吸電取代基和供電取代基，供電取代基強化氧化過程，吸電取代基延緩氧化過程，這對香料廢水中芳烴和芳香族化合物的氧化有很好的指導意義。

根據WAO工藝的特點，一些人還提出了兩步聯合處理工藝，因為單獨采用WAO法處理高濃度有機污水，往往達不到排放標準，尤其對某些高濃度有機廢水，其中間產物降解需要較長時間、較高溫度和壓力，經濟上不合算，且WAO處理后的中間產物主要為低級有機酸、醇、酮等，它們難以進一步被氧化，可是它們很容易被生物降解。因此，采用較低的溫度和壓力預處理，對大分子難降解有機物實現部分氧化，提高廢水的可生化性，然后再進行常規生化處理，可達到很高的COD去除率，還可以用于處理有毒廢液的預處理。兩步法對BOD5，COD的去除率達到99．0%以上，效果十分理想。例如，以聚乙二醇廢水為水樣，DionissiosMantzavinos等提出了化學氧化一生物法結合WAO的處理工藝，不僅取得了很好的處理效果，處理成本比單純用化學法降低310倍，DionissiosMantzavinos等認為使用催化劑(CWA0法)還可以促進氧化效果和縮短反應時間以及緩和反應條件等。可見，WAO工藝主要應用于難于生物處理的高濃度有毒有害廢水的預處理，具有相當的市場競爭力。

在WAO工藝的反應器方面，目前多集中在間歇反應器的研究，連續流反應器的研究較少且用于工程實例還不多。國外采用的工藝可分為兩種，一種是混合型列管式高壓反應器，通常用在采礦工業和煉油工業，投資費用高，運行上有一些問題；另外一種是固定床反應器，如鼓泡塔反應器、滴流床反應器。張蓓、趙建夫等J對滴流床反應器的工藝流程和特點進行了初步討論，認為滴流床反應器作為一種連續流操作，相對于傳統的間歇式攪拌高壓釜反應器和鼓泡塔反應器來說更適合于處理較大流量高濃度有機廢水。此外，對于濕式氧化反應器的反應動力學和設計參數的研究報道很少，催化設計和研究還處于起步階段。