Phase3-1 在線蒸鍍膜厚測量設備招標公告
1.招標條件 
本招標項目Phase3-1 在線蒸鍍膜厚測量設備,招標人為廈門天馬顯示科技有限公司，招標項目資金已落實，該項目已具備招標條件，現對Phase3-1 在線蒸鍍膜厚測量設備進行公開招標。
2.項目概況與招標范圍 
項目概況與招標范圍：Phase3-1 在線蒸鍍膜厚測量設備 在線蒸鍍膜厚測量設備1臺 
招標編號：0730-254010020003-41
包名稱：Phase3-1 在線蒸鍍膜厚測量設備
數量：在線蒸鍍膜厚測量設備1臺
簡要技術要求：
（1）主要用于OLED產品，蒸鍍完成之后，在氮氣環境下進行(1)膜厚(2)穿透率(3)電阻值的檢測，在短時間內對OLED成膜制程進行高精度的檢測監控；
（2）必要設備組成：
1、氮氣環境手套箱，2、吸附玻璃移動平臺，3、對位單元，4、橢圓偏光量測器，5、穿透率測量頭，6、電阻量測頭（4PP測量頭）；