微波處理廢水主要通過3種方式：直接微波輻射，微波誘導催化氧化，微波輔助高級氧化。在焦化廢水深度處理研究中，主要采用后2種方式，研究較多的是微波-活性炭和微波-Fenton技術。

　　微波-活性炭技術主要是利用活性炭對微波的強吸收能力。微波效應使活性炭的某些表面點位選擇性地被快速加熱至很高的溫度，當有機污染物與受激發的表面點位接觸時發生催化反應被降解。曲曉萍等采用微波-活性炭技術對焦化廢水生化出水進行處理，實驗表明，有機物的去除主要通過活性炭吸附-微波誘導催化的協同作用而非僅為活性炭吸附;增加活性炭用量、微波輻射時間和微波功率可以促進COD的去除，廢水pH對處理效果的影響不大。林莉等的研究表明，微波功率和輻射時間的增加可以提高微波-活性炭技術對COD和氨氮的去除;活性炭用量的增加可使COD去除率增加，但氨氮去除率會降低。具體聯系污水寶或參見http://www.jianfeilema.cn更多相關技術文檔。

　　微波-Fenton技術是焦化廢水深度處理研究中主要的微波輔助高級氧化方法。由于微波輻射可降低反應的活化能，有利于Fenton反應過程中HO·的生成，所以微波輻射與Fenton氧化協同作用可提高污染物的去除。范明霞等采用微波-活性炭-Fenton工藝處理焦化廢水生化出水，結果表明，在最佳工藝條件下，處理出水可達到國家一級排放標準的要求。昆鋼煤焦化安寧分公司采用微波-Fenton氧化-混凝的工藝深度處理焦化廢水，處理出水達到《城市污水再生利用工業用水水質標準》和《城市污水再生利用城市雜用水水質標準》的要求，出水全部回用，實現了廢水零排放。