多晶硅是制造集成電路、光伏太陽能電池的關鍵基礎材料。是國家發展信息產業和光伏新能源產業的重要基石。然而在生產過程中，多晶硅生產企業產生大量成分復雜的工業廢水，如不能很好地處理，勢必嚴重污染水體，危害環境。因此，如何處理生產廢水成為多晶硅生產企業環境治理必須解決的一個重大課題。

1多晶硅生產廢水的來源及特點

在多晶硅生產過程中需要對含硅原料用氫氟酸、硝酸等強酸進行適當的腐蝕，因此生產過程將產生大量酸性廢水。

1.1水質分類及其來源

根據水質分析，將多晶硅生產企業的廢水分為含氟酸性廢水、其他生產廢水和生活污水共3類。

(1)含氟酸性廢水。主要來自洗料車間多晶硅原料的浸泡工段、清洗工段以及酸霧處理中噴淋塔排出的噴淋廢水等。根據含氟離子的濃度大小，又將其分為高氟廢水和低氟廢水。

(2)其他生產廢水。主要指清洗劑、切割液等類物質的清洗廢水、堿洗塔廢水等，這類廢水不含F-。

(3)生活污水。主要來源于生產區衛生用水、生活行政區生活污水等。

1.2水質特點分析

(1)由于其水量、水質的變化幅度較大，pH值不穩定，需要集中調節、中和處理。

(2)F-與硝酸根離子濃度高，需要針對性去除。不僅含氟量較高，且含有一定量的色度和懸浮物，因此處理難度大。高含氟廢水的F-質量濃度在1.0—15g/L，低氟廢水的F-質量濃度在200mg/L左右。

詳細內容請查看附件部分：多晶硅生產企業廢水處理工程設計與應用