公布日：2023.10.13

申請日：2023.08.17

分類號：C02F9/00(2023.01)I;C02F1/00(2023.01)N;C02F1/04(2023.01)N;C02F1/32(2023.01)N;C02F1/42(2023.01)N;C02F1/44(2023.01)N;C02F1/469(2023.01)N;C02F1/

66(2023.01)N;C02F103/04(2006.01)N

摘要

本申請提供了一種半導體行業酸堿廢水的回收利用系統，通過設置包括依次連接的廢水回收模塊、回用水池、原水池、過濾模塊和凈化模塊的半導體行業酸堿廢水的回收利用系統，對半導體企業處理后的廢水進行處理，得到能夠回收利用的純水，與相關技術中半導體企業一般將廢水經處理后排往城市污水處理廠的方式相比，可以對半導體企業處理后的廢水進行處理并回收利用，減少環境污染的同時實現了廢水的資源化回收利用，具有綠色環保節能的優點。

權利要求書

1.一種半導體行業酸堿廢水的回收利用系統，其特征在于，包括：依次連接的廢水回收模塊、回用水池、原水池、過濾模塊和凈化模塊；所述廢水回收模塊，對酸堿廢水進行處理，得到回用水，并將所述回用水輸送到所述回用水池；所述回用水池，將回用水池輸送到所述原水池中；所述原水池，能夠對所述原水池中的所述回用水和新鮮原水進行均勻，得到混合自來水，并將得到的所述混合自來水輸送到所述過濾模塊中進行過濾；所述過濾模塊，能夠對所述混合自來水進行過濾，得到過濾后的混合自來水；所述凈化模塊，能夠對所述過濾后的混合自來水進行凈化，得到超純水。

2.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述廢水回收模塊，包括：依次連接的中和單元、中間水池、過濾系統以及第一反滲透系統；所述第一反滲透系統，還與所述回用水池連接；所述中和單元，能夠對酸堿廢水的PH值進行調節，得到PH值調節后的廢水，并將得到的所述PH值調節后的廢水輸送到所述中間水池；所述過濾系統，對所述中間水池的出水進行預過濾，得到預過濾的廢水；所述第一反滲透系統，能夠對所述預過濾后的廢水進行處理，降低預過濾后的廢水的無機鹽濃度，并去除所述預過濾后的廢水的有機物，得到回用水，并將得到的所述回用水輸送到所述回用水池。

3.根據權利要求2所述的系統，其特征在于，還包括：蒸發結晶裝置；所述蒸發結晶裝置，分別與所述第一反滲透系統和所述回用水池連接；除了所述回用水之外，所述第一反滲透系統還產生濃水，所述第一反滲透系統將產生的濃水輸送到所述蒸發結晶裝置；所述蒸發結晶裝置，利用蒸發結晶的方式對所述濃水進行處理，將所述濃水中的鹽分和水進行分離，得到回用水，并將得到的所述回用水輸送到所述回用水池中。

4.根據權利要求2所述的系統，其特征在于，所述中和單元，包括：加藥泵和中和反應池；所述加藥泵、所述中和反應池、所述中間水池依次連接；所述加藥泵，能夠向所述中和反應池的酸堿廢水中加入酸或者堿；所述中和反應池，對加藥泵加入的酸或者堿與所述酸堿廢水進行攪拌，對所述酸堿廢水的PH值進行調節，得到PH值調節后的廢水，并將得到的所述PH值調節后的廢水輸送到所述中間水池。

5.根據權利要求2所述的系統，其特征在于，所述過濾模塊，包括：依次連接的超濾系統、換熱系統、保安過濾器、第二反滲透系統、反滲透產水箱；所述超濾系統，還與所述原水池連接，所述反滲透產水箱，還與所述凈化模塊連接；所述超濾系統，能夠對所述混合自來水中的懸浮物、膠體、微生物進行去除，得到超濾處理后的混合自來水；所述換熱系統，能夠對超濾處理后的混合自來水進行加熱，得到加熱后的混合自來水；保安過濾器，能夠對加熱后的混合自來水進行處理，去除所述加熱后的混合自來水中的無機鹽和有機物；第二反滲透系統，能夠對所述保安過濾器處理后的混合自來水進行處理，繼續降低所述混合自來水的無機鹽濃度，并再次去除所述混合自來水的有機物，得到反滲透處理后的混合自來水，并將得到的所述反滲透處理后的混合自來水輸送到所述反滲透產水箱中。

6.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述凈化模塊，包括：依次連接的UV反應器、EDI裝置、超純水箱、以及TOC-UV裝置；所述UV反應器，還與所述反滲透產水箱連接；所述UV反應器，能夠對反滲透產水箱的出水進行殺菌處理，得到殺菌處理后的混合自來水；所述EDI裝置，能夠去除所述殺菌處理后的混合自來水中的雜質，得到超純水，并將所述超純水輸送到所述超純水箱中；所述TOC-UV裝置，能夠對所述超純水箱的出水進行氧化降解，得到氧化降解后的超純水。

7.根據權利要求6所述的系統，其特征在于，還包括：與所述TOC-UV裝置連接的拋光混床；所述拋光混床，對所述氧化降解后的超純水進行純化處理。

8.根據權利要求6所述的系統，其特征在于，在所述超純水箱內通入氮氣，將所述超純水箱內的超純水與空氣隔絕。

9.根據權利要求5所述的系統，其特征在于，所述第一反滲透系統和所述第二反滲透系統，分別包括：第一反滲透膜、第二反滲透膜以及高壓水泵；所述高壓水泵設置在所述第一反滲透膜和所述第二反滲透膜之間；所述高壓水泵將所述第一反滲透膜處理后的水輸送到所述第二反滲透膜進行處理。

10.根據權利要求2所述的系統，其特征在于，所述過濾系統，采用多介質過濾器和/或者活性炭過濾器。

發明內容

為解決上述問題，本申請實施例的目的在于提供一種半導體行業酸堿廢水的回收利用系統。

第一方面，本申請實施例提供了一種半導體行業酸堿廢水的回收利用系統，包括：依次連接的廢水回收模塊、回用水池、原水池、過濾模塊和凈化模塊；

所述廢水回收模塊，對酸堿廢水進行處理，得到回用水，并將所述回用水輸送到所述回用水池；

所述回用水池，將回用水池輸送到所述原水池中；

所述原水池，能夠對所述原水池中的所述回用水和新鮮原水進行均勻，得到混合自來水，并將得到的所述混合自來水輸送到所述過濾模塊中進行過濾；

所述過濾模塊，能夠對所述混合自來水進行過濾，得到過濾后的混合自來水；

所述凈化模塊，能夠對所述過濾后的混合自來水進行凈化，得到超純水。

本申請實施例上述第一方面提供的方案中，通過設置包括依次連接的廢水回收模塊、回用水池、原水池、過濾模塊和凈化模塊的半導體行業酸堿廢水的回收利用系統，對半導體企業處理后的廢水進行處理，得到能夠回收利用的純水，與相關技術中半導體企業一般將廢水經處理后排往城市污水處理廠的方式相比，可以對半導體企業處理后的廢水進行處理并回收利用，減少環境污染的同時實現了廢水的資源化回收利用，具有綠色環保節能的優點。

（發明人：曹海燕;陳爽;郝風波）